DLC鍍膜

類鑽石(Diamond-like Carbon，DLC)是一種非晶形的碳材料，其諸多的材料性質類似於鑽石，例如高硬度、耐磨耗、低摩擦係數，因而得名為類鑽石。DLC塗層具堅硬、表面光滑等特性，透過不同的製程調適，應用於廣泛的商業領域。

鍍製DLC膜的常見方法有電漿增強化學氣相沉積法(Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)、離子束輔助沉積法(Ion-beam Assisted Deposition，IBAD)、濺射沉積法 (Sputtering Deposition)、磁過濾陰極電弧法(Filtered Cathodic Arc Deposition，FCAD)、脈衝雷射沉積法(Pulsed Laser Deposition，PLD)等。一般DLC膜可藉由調控製程參數(例如基板偏壓、電漿密度……)以控制膜中sp3鍵的比例，達到優異的機械性質，例如硬度可從10 GPa調控到40 GPa。